巴鲁夫有绝对式的位移测量系统的分辨率和精度能达到多少?

仪器对精度的要求比较高的场合应用

巴鲁夫的绝对式的位移测量系统的分辨率有1微米到10微米之间,线性精度最大的话偏差7个微米。BML3

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